В рентгеновских лучах прозрачен слой толщиной ~10 мкм, а при аномальном пропускании под углом 0 (эффект Бормана) — до 1 мм. При ширине изображения Ax ~ 10 мкм дислокации различимы при р < 10в4...10в6 см-2. Нижней границы здесь не существует, так как обозревается площадка до F ~ 10 см2. Разрешение всех методов рентгеновской топографии сравнимо, разница лишь в геометрии съемки: в отраженном пучке — по Ньюкирку, в дифрагированном проходящем — по Лангу, в двухкристальном спектрометре — по Бонзе и Капплеру, при аномальном пропускании — по Борману.
Как только дислокации видимы, их плотность р измеряется обычными методами количественной металлографии по числу точек выхода на поверхность или по суммарной длине ЕL в объеме (методом секущих). Пока все точки выхода хорошо видны, первый метод предпочтительнее. Если же измеряют суммарную длину, то надо знать и толщину фольги (по полосам экстинкции). С учетом флуктуаций числа дислокаций в кадре измерение р ~ 3*10в9 см-2 с точностью 10% требует не менее 20 кадров площадью F = 10 мкм2.
Рентгеновская топография измеряет малые плотности дислокаций - до 10в6 см-2; световая микроскопия по ямкам травления — до 1*10в7 см-2, а трансмиссионная электронная микроскопия — от 10в7 до 10в10...10в11 см-2. Поэтому рентгеновская топография - способ наблюдать дислокации в совершенных монокристаллах (чаще — полупроводников), а электронная микроскопия - в металлах и сплавах, даже и после деформации.
Главная